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半导体产业链之电子特种气体行业深度研究:四氟甲烷

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-02-25 09:00:00【

 四氟甲烷(CF4)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、 控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极 强,CF4 还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超 净和多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前 而言,CF4 以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广阔的发展潜力。

 
目前工业上制备 CF4 的方法主要有烷烃直接氟化法、氟氯甲烷氟化法、氢氟甲烷氟化法和氟碳直接合成法 等。

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