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混合气体和标准气体的不同

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-02-28 08:29:00【

    电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

 
    1、电子混合气体的气瓶处理
    同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
    首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如美国的CGA、欧盟的ISO等,我们国家在此方面仍在认识和完善中。
 
    2、电子混合气体配制装置技术要求
    同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。
 
    电子混合气常用的平衡气或称底气:N2,H2,He,Ar,O2;组分气:PH3,SiH4,B2h6,Sih6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99.9999%,在净化器的出口设有在线H2O,O2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这此净化器内置气体过滤器。
 
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