制备和应用超高纯氮气的方法

超纯气体是指纯度高于99.999%的气体，是一种高纯度的化学试剂。为了满足一些科学研究和尖端技术的

特殊需要而制备。对于一些需要特别纯气体的部门，超纯气体的纯度高达99.999%，每升气体的粒度大于

0.5μm的尘粒数量应小于三个。

超纯气体品种用途：

大约有300种。中国可以生产十多种单一的超纯气体，几十种混合超纯气体。除了表中列出的主要品种外

，还有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷、丙二烯、顺丁烯、丁二烯等单一超纯气体。

混合超纯气体是上述单一超纯气体的混合气体，具有纯氩-氮混合气体用于电光源中钨丝的还原，纯氩-镁

混合气体、氩报-氦混合气体用于霓虹灯充气等。，以及许多超纯混合气体作为色谱、质谱和光谱分析中的

标准气体。

超纯气体的制备多为工业气体的纯化，包括吸附、吸收、膜扩散、电解、生化、辐射、光解、低温精馏、

催化等。比如超纯氢、氮、氦、氩，先通过空气分离提取更纯的气体，再通过低温吸附获得超纯的气体；

粗氩也可以从合成氨放气中提取；粗氪和氙从核裂变气中提取，然后通过纯化获得超纯气体。

吸附法、变压吸附法、膜分离法等都是超高纯氮纯化的主要方法。生产中，一般采用黑色钢瓶盛放氮气。


超高纯氮气

用途：

在集成电路、半导体和电真空设备的制造中，它被用作保护气体和运输气体、化学气相积累时的气体和

液体扩散源的气体，在高温扩散炉中被用作设备的保护气体。超高纯氮在延伸、光刻、清洗和蒸发过程

中被用作替代、干燥、储存和输送气体。显像管制造要求氮纯度在99.99%以上。在航天技术中，液氢加

注系统必须首先用超高纯氮替代，然后用超高纯氮替代。


贮运：

对于超纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体储存和运输过程中的清洁度和高密封

性尤为重要。超纯气体主要储存和运输高压钢瓶或低温液化气体容器。高压钢瓶坚固耐用，运输使用灵活，

气体无损耗，但气体纯度稳定性差；低温液化气体容器容量大，但有气体排放损耗。

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