当乙烯、乙炔和丙烯在950°下热解时，热解碳的化学气相沉积速率随气体浓度而变化。如果气体浓度较小，热解碳的沉积速率与乙炔和丙烯的浓度呈平方关系，与乙烯的浓度呈立方关系。随着浓度的增加，热解碳的沉积速率遵循饱和吸附的生长模式。因此，在低浓度条件下，CVD实际上是一个活性位点吸附的饱和吸附生长过程。

随着乙烯和其他气体浓度的不断增加，热解碳的沉积速率线性增加，这是多环芳烃的缩合成核增长。在900°C和1s的气体停留时间下，每个组分中碳元素的分布如图9所示。除未分解的原料气外，大多数碳元素在气相中转移到苯和多环芳烃化合物中。固体碳的百分比很低。气相色谱仪测定的主要气相组成如表2.5所示。多环芳烃的最大分子量限值与卤代苯一样小。因此，即使对于具有高碳形成速率的烃类气体，如乙烯、乙炔和丙烯，热解碳的化学气相沉积也只是热解反应的副反应过程。