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乙烯、乙炔和丙烯的热解炭的沉积速率

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-12-06 16:09:00【

 当乙烯、乙炔和丙烯在950°下热解时,热解碳的化学气相沉积速率随气体浓度而变化。如果气体浓度较小,热解碳的沉积速率与乙炔和丙烯的浓度呈平方关系,与乙烯的浓度呈立方关系。随着浓度的增加,热解碳的沉积速率遵循饱和吸附的生长模式。因此,在低浓度条件下,CVD实际上是一个活性位点吸附的饱和吸附生长过程。

随着乙烯和其他气体浓度的不断增加,热解碳的沉积速率线性增加,这是多环芳烃的缩合成核增长。在900°C和1s的气体停留时间下,每个组分中碳元素的分布如图9所示。除未分解的原料气外,大多数碳元素在气相中转移到苯和多环芳烃化合物中。固体碳的百分比很低。气相色谱仪测定的主要气相组成如表2.5所示。多环芳烃的最大分子量限值与卤代苯一样小。因此,即使对于具有高碳形成速率的烃类气体,如乙烯、乙炔和丙烯,热解碳的化学气相沉积也只是热解反应的副反应过程。