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气体管道工程中常说的氦气检漏（氦检）是怎样的？

文章出处：责任编辑：人气：109发表时间：2023-06-16 09:51:57【大中小】

高纯氦气

在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，在一些管道的连接处可能会有一些肉眼难以察觉的小孔，
使用时会导致泄漏，造成事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业中，如果发生泄漏，输送超
高纯电子特殊气体的燃气管道工程将对生产安全产生很大影响，因此检漏非常重要。

一.常说的氦检是什么？

首先，我们要了解，气体管道的五项测试是QC中最重要的一部分，这五项测试分别是：保压测试、
氦气检漏测试（氦检）、水分测试、氧分测试和颗粒测试，确保气体管道系统的品质达到一定的水
准和满足客户的需求。

二.氦气是如何检漏的呢？

众所周知，在元素周期表中，氦（He）的相对分子质量是除氢（H）以外最小的，是最轻的惰性气
体。气体管道的氦气检漏（氦检）利用的就是这一点。

1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。

2.向内检漏法（氦气注入法）是通过内部吸入高纯度气体管线，外部喷射氦气来进行的

3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入氦气，并在下游抽真空

4.必须使用朝外检漏法（吸枪法）在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物，并使用外部吸枪检
查可能的泄漏点

5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器，检测精度不低于1

6.高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求：

（1）通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s

（2）阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

7.氦检漏发现的泄漏点修复后，必须重新进行气密性试验，合格后，再按规定进行氦检漏

8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热

9.系统测试后，用高纯度氮气或氩气填充和清洁

10.检查后，应提交试验报告

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