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气体管道工程中常说的氦气检漏(氦检)是怎样的?

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2023-06-16 09:51:57【
气体管道工程中常说的氦气检漏(氦检)是怎样的?

高纯氦气


在气体管道工程中,由于施工中的各种因素,在一些管道的连接处可能会有一些肉眼难以察觉的小孔,
使用时会导致泄漏,造成事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业中,如果发生泄漏,输送超
高纯电子特殊气体的燃气管道工程将对生产安全产生很大影响,因此检漏非常重要。


一.常说的氦检是什么?


首先,我们要了解,气体管道的五项测试是QC中最重要的一部分,这五项测试分别是:保压测试、
氦气检漏测试(氦检)、水分测试、氧分测试和颗粒测试,确保气体管道系统的品质达到一定的水
准和满足客户的需求。



二.氦气是如何检漏的呢?


众所周知,在元素周期表中,氦(He)的相对分子质量是除氢(H)以外最小的,是最轻的惰性气
体。气体管道的氦气检漏(氦检)利用的就是这一点。







1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。


2.向内检漏法(氦气注入法)是通过内部吸入高纯度气体管线,外部喷射氦气来进行的


3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入氦气,并在下游抽真空


4.必须使用朝外检漏法(吸枪法)在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物,并使用外部吸枪检
查可能的泄漏点



5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器,检测精度不低于1


6.高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求:


(1)通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s


(2)阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s


(3)向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s


7.氦检漏发现的泄漏点修复后,必须重新进行气密性试验,合格后,再按规定进行氦检漏


8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热


9.系统测试后,用高纯度氮气或氩气填充和清洁


10.检查后,应提交试验报告