氦气,作为元素周期表中沸点最低(-268.9℃)的惰性气体,因其极低的反应活性、极高的热导率、极小的分子尺寸以及超流特性,被誉为“工业血液”和“黄金气体”。在众多应用场景中,纯度达到99.999%(5N)及以上的高纯氦气,特别是99.9999%(6N)乃至更高纯度的超纯氦气,已成为支撑半导体制造、尖端科研、医疗影像及航空航天等国家战略性产业发展的关键基础材料。近年来,随着全球供应链格局变化与国内技术攻关加速,我国在超纯氦气制备领域取得了一系列突破性进展,正逐步扭转长期依赖进口的局面。
在气体工业中,纯度通常以“N”数表示,如99.999%称为5N,99.9999%称为6N。每提升一个“9”,都意味着杂质含量降低一个数量级,技术难度呈指数级上升。例如,6N级纯度要求杂质总含量低于1ppm(百万分之一),而6N9级(99.99997%)则意味着在一百万个气体分子中,杂质分子不得超过3个。最难去除的杂质是氖气,因其分子直径与氦气仅相差0.6埃米(相当于头发丝直径的百万分之一),且化学性质极不活泼,传统分离工艺几乎无法有效处理。
2025年以来,我国在超纯氦气制备技术上捷报频传,标志着自主保障能力显著增强:
1. 99.99997%(6N9级)突破:2025年8月,安徽万瑞冷电科技有限公司自主研制的“低温精制及脱氖装置”在陕西延安天然气提氦项目通过验收,稳定产出纯度高达99.99997%的超纯氦气,氖气杂质含量低于0.3ppm。该装置采用创新的“四阶耦合工艺”(催化脱氢、膜分离、变压吸附、深低温精制),实现了低丰度天然气(氦含量仅0.03%-0.05%)的高效提纯,年产能达40万立方米,技术指标达到国际领先水平。
2. 99.9999%(6N级)规模化:2025年至2026年初,多个项目实现6N级氦气稳定产出。山西吕梁液化提氦项目于2025年成功产出6N级超高纯氦气。鹏力超低温自主研发的30K(-243℃)深低温氦纯化器在山西某天然气工厂试车成功,同样产出6N级产品,通过动态物理吸附精准去除氖气。山西丰圣能源则首创“膜分离+PSA+合金脱氢+低温纯化”的煤层气提氦技术链,攻克了该领域全球性技术鸿沟。
3. 工艺与成本优化:中国电科博微研发的低温精制及脱氖装置采用中低压深低温吸附工艺,在提升安全性的同时,运用双塔结构使装置体积缩减40%,气体处理效率提高50%,氦气回收率可达98%以上。这些技术进步使得国产超纯氦气的制造与运营成本较国外同类产品降低约30%。
1. 半导体制造:这是超纯氦气需求增长最快的领域。在极紫外(EUV)光刻机中,超导磁体必须在4K(-269℃)的液氦环境中运行,单台High-NA EUV设备年耗氦量可达8000立方米。在等离子体刻蚀、化学气相沉积(CVD)等工艺中,氦气被充入晶圆背面作为导热介质,其卓越的热导率能确保工艺温度控制在±1°C的精度内。随着制程微缩至3纳米,单片晶圆氦耗较7纳米增长25%。氦质谱检漏则是芯片封装气密性检测的“金标准”。
2. 医疗健康:液氦是维持核磁共振成像(MRI)设备超导磁体稳定在接近绝对零度的唯一冷却介质。全球每台MRI年消耗液氦约1.2万升,2024年中国医疗用氦达320万立方米,其中85%用于MRI。此外,氦氧混合气(Heliox)可用于治疗重症哮喘等呼吸道疾病。
3. 前沿科研与航空航天:在量子计算、核聚变实验、超导研究中,液氦是创造极端低温环境的必需品。在航空航天领域,氦气用于火箭燃料系统增压、卫星部件测试及精密焊接的保护气。
四、市场格局与供应链重塑
长期以来,全球氦气供应高度集中。然而,地缘政治与技术进步正在重塑格局。预计随着俄罗斯阿穆尔气田于2026年投产,每年可向中国输送1.2亿立方米氦气。与此同时,国内产能的快速提升,使得满足高端制造需求的电子级高纯氦(6N级及以上)在国内产品结构中的占比已提升至30%。这一转变降低了供应链风险,为下游产业提供了更稳定的保障。
在这一背景下,市场对高品质、稳定供应的氦气产品提出了更高要求。以纽瑞德特种气体有限公司为例,作为一家成立于2007年、享有自营进出口权的专业气体公司,其长期致力于为高端制造与科研领域提供高纯气体解决方案。纽瑞德供应的高纯氦气产品线覆盖了从99.999%(5N)到99.9999%(6N)的多个纯度等级,能够满足半导体光刻、超导科研、光纤制造、精密焊接等不同场景的苛刻需求。其产品采用进口无缝钢瓶等高标准包装,并建立了完善的质量控制体系,以确保关键杂质(如水、氧、烃类)含量被控制在极低水平。这种对纯度与稳定性的极致追求,正是响应了当前半导体、医疗设备等行业对气体供应链可靠性和产品一致性的核心关切。