准分子激光气体种类解析  

用于准分子激光的气体类型主要包括稀有气体卤化物和氧化物。

在刺激状态下，准分子激光器通常使用稀有气体卤化物作为工作

物质产生激光。常见的准分子激光气体包括：

氪氟（KrF）：发射波长为248 nm，常用于半导体光刻。
氩氟（ArF）：发射波长为193 nm，广泛应用于半导体光刻和眼

科屈光度校正手术。
氙氯（XeCl）：发射波长为308 nm，面板显示制造主要采用低温

多晶硅退火。
这些气体通过高压放电激励在准分子激光器中产生高能紫外激光。

它们具有波长、能量大、脉搏宽度窄的特点，适用于高精度加工

和医疗应用。

1.准分子激光器的参数
1. 波长：准分子激光波长范围广，常用波长为193nmm。、248nm、

308nm、350nm、351nm等。

2. 输出功率：准分子激光器的输出功率一般为mw级，常用输出功

率为5mw。、10mW、20mW、50mW等。

3. 脉宽：准分子激光器的脉宽一般为10纳秒量级，常用脉宽为8ns、

10ns、20ns等。

4. 重复频率：准分子激光器的重复频率一般在1-100Hz之间，常用

的重复频率为10Hz。、20Hz、50Hz等。

5. 稳定性：准分子激光器的稳定性主要包括波长稳定性、功率稳定

性和重复稳定性。激光输出信号稳定性越好，激光参数精度要求越

高。

2、不同参数对激光性能的影响
不同参数对分子激光性能的影响如下：

1. 波长：波长是准分子激光的重要参数之一。193nm激光适用于半

导体加工等高精度工艺场合。308nm激光适用于皮肤病患者的治疗。

不同的波长激光用于不同的材料加工和医疗美容。

2. 输出功率：输出功率越高，能量密度越高，穿透力越强。适用于

深层组织的切割和烧蚀。但与此同时，高功率激光也会对组织造成

热损伤，因此在医疗美容领域应谨慎使用。

3. 脉冲宽度：脉冲宽度越短，脉冲强度越大，光能越容易穿透样品，

总能量越小。因此，短脉冲激光通常适用于高速加工。

4. 重复频率：重复频率越高，输出能量越大，但长期连续使用会加

剧光学元件和激光介质的磨损。同时，过高的重复频率也会增加激

光的内部温度，降低激光的稳定性。

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