六氟化硫：半导体制造的纯净动力  

在半导体芯片制造中，电子气体的纯度与稳定性直接决定晶圆良率和器件性能。

湖北纽瑞德电子气体有限公司凭借5N级（99.999%）超高纯度六氟化硫及全链条技术优势，引领国

产电子气体技术突破。

一、产品核心优势：纯度与稳定性的双重保障
超高纯度工艺

采用国际领先的纯化技术，六氟化硫纯度覆盖 4N（99.99%）至5N（99.999%），关键杂质

（水分≤0.1ppm、酸度≤0.1ppm）达到国际先进水平，满足7nm以下先进制程对蚀刻气体的严苛要求。

全流程质控体系

执行ISO 9001质量管理体系，从原料进口（附原厂检测报告）到生产灌装，全程通过高精度色谱仪

监控气体成分，确保批次一致性。

二、半导体应用场景：精准匹配先进制程需求
等离子蚀刻  

   5N级六氟化硫作为高效蚀刻剂，在硅晶圆上实现微米级电路图案的精准雕刻，避免杂质导致的侧

壁粗糙或器件短路。设备清洗与成膜

其化学稳定性可清除沉积设备腔体内的残留物，同时作为隔离层掺杂剂提升单模光纤的光学性能，

保障光刻工艺稳定性。

安全环保特性
不可燃、无腐蚀性的本质安全特性，降低晶圆厂存储与使用风险，符合半导体洁净室标准。
三、企业综合实力：技术背书与产业赋能
开发低杂质纯化工艺，推动国产替代进程。
权威认证与客户覆盖
通过ISO 14001环境管理体系认证，出口全球20余国。
定制化服务能力

提供工艺适配气体方案，24小时应急响应机制保障产线不间断运行，配套技术培训优化客户用气

效率。

四、未来布局：绿色制造与智能化升级

响应“双碳”目标，湖北纽瑞德投资3亿元建设智能化工厂，推动六氟化硫回收循环技术，降低半导体

产业碳足迹；同步拓展海外市场，加速国产高纯气体全球化布局。

湖北纽瑞德以“高纯、安全、高效”为核心，通过技术迭代与服务升级，持续为半导体产业提供可靠的

气体解决方案，成为中国电子气体自主化进程的关键推动者。未来，其创新驱动的战略将进一步巩固

在高端制造供应链中的不可替代性。

武汉纽瑞德特种气体有限公司是一家专业生产和销售高纯氦、氢、氮的公司。各种纯度和规格齐全。

请拨打400-6277-838咨询。