氩气和高纯氩气的用途

  氩气的应用领域：

  不锈钢焊接保护气体、铝合金焊接保护气体、铜合金的焊接保护气体、高纯氩气广泛用于ICP光谱仪、高纯氩气广泛用于节能灯、白炽灯、日光灯的填充气体、高纯氩气用于ArF准分子激光气体、超纯氩气用于电子行业制造。

  氩气的特殊用途：

  用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用，氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求，赢得客户的满意和市场的需求。由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。

  大气压等离子渗氮因其工业化前景获得格外关注，但研究者多关注于工艺参数对金属氮化物薄膜性能的影响，对等离子体改性过程中光谱辐射特性的研究较少。同时为获得稳定的N2等离子体放电，通常在反应器中添加一定量的氩气。