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氩气纯化方法

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-10-25 09:41:00【

 对于气体,纯度是衡量气体质量的标准。作为惰性气体,氩气可以用作生产单晶和多晶的保护气体。为了提高硅晶体的质量,选择高纯度的氩气非常重要,这不仅可以提高晶体的寿命,而且可以满足市场需求。

通常,氩气净化过程由清洁装置实现。氩气提纯方法可分为直接脱氧法和吸气剂提纯法。

直接脱氧法:活性金属与氩气中的氧反应,消化氩气中氧,达到脱氧的目的。分子筛吸附的氩气中的水分子使氩气的水含量小于1ppm。

吸气剂清洁方法:使用吸气剂清洗剂或干燥剂。吸气剂可以与氩气中的痕量单元形成稳定的连接,以达到精炼氩气的效果。经吸气剂净化法净化后,高纯度氩气的纯度可达6个9。

上述两种方法是对氩气净化方法的简要介绍。相比之下,吸气剂清洗方法在设备上投资大,但纯度高。这种方法在工业中得到广泛应用。