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特种气体在LED中的应用

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-11-03 10:32:00【

 特种气体是光电子、微电子和其他领域不可或缺的硅基载体材料,尤其适用于超大规模集成电路、LCD器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体灯和半导体材料制造工艺。其纯度和清洁度直接影响光电子和微电子元件的质量、集成度、特定技术指标和产量,并从根本上限制了电路和器件的准确性和准确性。

半导体照明是一个正在崛起的行业。随着复合半导体市场的扩大,对特种气体的需求越来越强烈,外延生长需要大量高纯度源和工艺气体。目前,台湾和日本在复合半导体市场占有很高的份额。近年来,中国和韩国的发展势头强劲,北美和欧洲的份额也有所增加。半导体技术中使用的特殊气体对生产、填充、运输和储存有多种严格的质量要求、技术和安全要求。此外,经济规模等因素需要各方面的积累,才能实现大规模生产。因此,国内市场现在很大,供应能力很低。

2,2,LED行业中使用的特殊气体

半导体工业中使用的气体种类繁多,质量要求高,消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体行业特种气体的应用分类主要包括:

2.LED行业使用的特殊气体

半导体工业中使用的气体种类繁多,质量要求高,消耗量低。其中大多数是有毒或腐蚀性气体。有100多个。半导体工业中的特殊气体按用途分类,特别是:

1.硅基气体:含硅基的硅烷,如硅烷、二氯硅烷、乙烷等。

2.讲授气体:含有三或五组原子的气体,如硼、磷、砷等。,如三氯化硼、三氟化硼、磷酸盐、砷等。

3.蚀刻清洗气体:主要含有卤化物和卤素碳化合物,如氯、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等。

4.反应气体:主要是碳和氮氧化物,如二氧化碳、氨、氮氧化物等。

5.金属气相沉积气体:含有卤化金属和有机烷烃金属,如六氟化钨、三甲基镓等。