六氟化硫气体化学性质稳定，微溶于水、醇及醚，可溶于氢氧化钾，不与氢氧化钠、液氨、盐酸及水起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与金属钠反应，-64℃时在液氨中反应。与硫化氢混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。

六氟化硫耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，在电力工业中应用广泛，如断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。采矿工业用作为反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。高纯六氟化硫还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼（如镁合金熔化炉保护气体）、航空航天、医疗（X光机、激光机）、气象（示踪分析）、化工（高级汽车轮胎、新型灭火器）等。随着当今科技的发展，六氟化硫涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用。

但是，六氟化硫具有一定危险性。六氟化硫纯品,毒性较低、性状稳定，但人在吸入80%六氟化硫+20%的氧气的混合气体几分钟后，人体会出现四肢麻木，轻度兴奋症状。六氟化硫气体充入高压开关柜内有一定的压力，因此，气体泄漏的概率较高，而空气中的氧气含量充足，这样使得六氟化硫泄漏后与氧气结合产生毒性的条件充分。这是需要防护的情况之一。除此之外，一旦六氟化硫气体遇到高热、高温，如电弧，会产生出副产物—氧化硫和氟化氢气体，它们与未分解的六氟化硫气体共存。此时就有三种毒气存在。