江西华特电子特气项目年产1936.2吨 震撼发布！  

近日，永修县人民政府宣布，江西华特电子化工有限公司计划在江西省九江市永

修县经济开发区星火工业园区现有厂区投资17400万元建设年产1936.2吨电子特

种气体项目。根据《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部令第4号）的规

定，向公众公布相关环境评价信息。




项目介绍
项目名称


江西华特永修年产1936.2吨电子特气项目。


建设地点


江西省九江市永修县经济开发区星火工业园区现有厂区，中心地理坐标为北纬

N29°8′16.331″，东经115°46′8.336″。





建设规模


一套15t/a乙硅烷、一套1t/a丙硅烷、一套0.2t/a乙锗烷、一套20t/a锗烷、一套

300t/aC4F6新扩建生产装置、一套600t/a环氧乙烷分装置、一套1000t/a三氟

化氮分装置。


关于三氟化氮


三氟化氮作为集成电路、显示面板等制造过程中使用的优良等离子蚀刻气体，

具有优异的蚀刻速率和选择性。与其他含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫相比，

不会导致碳和硫沉积到硅表面，使用后对表面污染小。因此，三氟化氮是目前

市场上最大的电子特种气体产品之一。


三氟化氮是国产化比较成功的含氟特气之一，国外生产企业主要包括SK Materials

、韩国晓星、日本关东电化、德国默克等，国内生产企业主要包括南大光电、浩

华气体、中船特气。


关于六氟丁二烯


六氟丁二烯（C4F6）又称全氟丁二烯，作为下一代蚀刻气体，被认为具有竞争优

势。它可以取代CF4用于KRF激光锐利蚀刻半导体电容器图形的干燥过程。C4F6

在先进工艺技术层面具有许多蚀刻优点：选择性高、精度高、各向异性好，适用

于100 nm以下电子线路蚀刻性能优于全氟碳气体和NF3；与C4F8相比，C4F6还

具有更高的光阻和氮化硅选择比，这是两个非常重要的优点；此外，环境也是一

个非常重要的因素，C4F6的全球变暖潜力值(GWP)几乎为零。专家指出，到目

前为止，C4F6可能是唯一能够提供所需蚀刻条件和减少排放的替代品。


六氟丁二烯(C4F6)是一种附加值高、市场前景广阔的电子气体。目前主要由海外

厂商和海外厂商在国内子公司经营，韩国厚城、梅塞尔、关东电化、大阳日酸在

国内都有生产布局。国内也有很多企业开始研究，包括绿菱气体、玉极科技、浙

江化工学院、派瑞特气体等。