氦气是理想的泄漏检测气体

首先，因为氦的最外层电子是2，而氦只有一层电子，第一层电子是2。这意味着已经达到了稳定的结构。因此，氦气的化学性质相对稳定，不容易反应、爆炸等。在一些更有价值的设备中，如飞机、航天器等，我更喜欢使用氦气作为泄漏检测气体。然而，氦在自然界中的储量较少，成本较高。因此，为了节省成本，一些公司还选择氢气和氮气的混合物作为检漏气体，或者直接选择氮气作为检漏气体。
氦泄漏检测在半导体中的作用
为了防止半导体器件、集成电路和其他部件的表面性能因水蒸气等杂质而恶化，有必要使用外壳密封。然而，由于各种原因，在管和外壳或探针的连接处通常会有肉眼难以识别的小孔。因此，在封装部件之后，需要一些方法来检测这些小孔的存在或不存在。氦泄漏检测包括使用氦来检查电子元件封装管壳中的小孔。由于氦原子的体积很小，它们很容易穿过管壳上的小孔。这种检测方法可以检测漏气率约为10-11至10-12cm3/sec的小孔，其灵敏度可以与放射性泄漏检测方法相媲美，但比放射性泄漏检测法更简单。氦气泄漏检测测试方法：首先，将封装好的部件放入充氦容器中，加压，使氦气通过小孔进入管壳；然后提取出来，用压缩空气吹出管壳表面残留的氦气；然后，使用质谱仪来检测氦泄漏到管壳外部。