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高纯气体管道氦气检漏方法

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-09-23 16:02:00【

 1.高纯度散装气体管道氦气检漏方法应采用向内检漏法、阀座检漏法和向外检漏法。

2.向内检漏法(氦气注入法)是通过内部吸入高纯度气体管线,外部喷射氦气来进行的。

3.检测阀座泄漏的方法必须在阀门前充入氦气,并在下游抽真空。

4.必须使用朝外检漏法(吸枪法)在高纯度气体管线内填充氦气或氦氮混合物,并使用外部吸枪检查可能的泄漏点。

5.氦检漏仪必须是质谱氦检漏器,检测精度不低于1

6.高纯气体氦气检漏的泄漏率应符合下列要求:

6.1通过向内泄漏检测方法测得的泄漏率不得超过1.10-9 mbar l/s;

6.2阀座泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s;

6.3向外泄漏检测法测得的泄漏率不得超过1.10-6mbar l/s

7.氦检漏发现的泄漏点修复后,必须重新进行气密性试验,合格后,再按规定进行氦检漏。

8.所有可能的泄漏应使用塑料袋进行隔热。

9.系统测试后,用高纯度氮气或氩气填充和清洁。

10.检查后,应提交试验报告。