国产氖气崛起：助力中国半导体产业自主可控  

武汉纽瑞德特种气体作为中国电子特种气体领域的重要企业，其霓虹灯（Ne）该产品在半导体、光电显

示、激光技术等高端制造领域具有关键应用。以下是其主要应用场景和行业背景分析：

1. 半导体光刻工艺

•准分子激光气体：准分子激光气体：霓虹气体为深紫外线（DUV）光刻机中使用的KRF(氟化氪)和

 ArF(氟化氩)准分子激光器的核心混合气体成分(约95%)直接影响激光波长的稳定性和芯片工艺的精度。

•国内替代需求：随着美国对中国半导体设备出口限制的加剧，国内半导体制造商（如中芯国际和长

江存储）加快了供应链的本土化，高纯度霓虹灯已成为关键的“颈部”材料之一。

2. 制造显示面板

•等离子体蚀刻与清洗：OLED、在LCD面板生产中，霓虹灯用于等离子体蚀刻工艺，保证了显示电

路的高精度加工。

•国产化替代:乌克兰曾经是全球70%霓虹灯的供应地，俄乌冲突导致价格飙升(2022年涨幅达到600%)。

纽瑞德通过空分废气提取技术(从钢铁厂空分装置回收霓虹、氪、氙)，减少了对进口的依赖。

•半导体级霓虹灯需要超过8N级纯度（林德、普莱克斯等国际领先企业已经实现），国内企业仍需要

提高纯化过程的稳定性。

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