氦质谱检漏仪是一种质谱仪，使用高纯度氦作为泄漏气体，并使用气体分析仪检测氦进行泄漏检测。是国内外应用的先进真空罐检漏技术。与常规检漏技术相比，氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高、无损伤等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。然而，通常使用氦，因为它具有以下特性：

1.空气中的氦含量很低，只有约120万，很容易找到；

2.氦分子小，重量轻，易于扩散，比其他气体更容易通过泄漏孔；

3.氦离子的荷质比小，易于质谱分析；

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4.氦无毒无味，对大气无污染。

5.氦气是一种化学性质稳定的惰性气体，不会腐蚀和损坏设备；

6.氦无毒、不凝结，极难在水中储存。

由于氦具有上述特性，科研机构已将氦泄漏检测应用于工业企业，甚至个人企业。可以说，应用领域非常广泛。