高纯硅烷的品质无统一规定，各个生产单位生产的硅烷品质通常有微小差别。下标是5N、6N级高纯硅烷和普通硅烷品质指标。

 

 

从表中可以看出，5N级硅烷除氢气、氦气外，杂质气体氧（氩）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他杂质气体均在0.2ppmv。6N级硅烷均控制在0.1ppm。普通硅则高了一个数量级，氯化物甚至达到了15ppmv，高了两个数量级。