纯度是氮气的重要技术参数。根据国家标准，氮气可分为工业氮气、纯氮气和高纯氮气。其纯度分别为99.5%（O2≤0.5%）、99.99%（O2≤1%）和99.999%（O2≤2.001%）。

纯氮（N2）≥99.99；化工、冶金和电子行业中的高纯氮（N2）≥99.999；科研、电子和机械工业的载气和色谱仪

因此，如果将其用作制冷剂，则没有区别。高纯氮气主要适用于本仪器

除纯度≥99.999%的高纯氮气（进口量极高）外，国内外同行一般采用变压吸附制氮技术生产99.9%的纯氮气（即O2），单个企业可生产99.99%的纯氮（O2）≤0.01）。PSA制氮技术可以获得更高的纯度，但制造成本太高，用户难以忍受。因此，非低温制氮技术产生的高纯度氮气也添加到后清洁装置中。