电子特种气体被称作工业气体“王冠上的明珠”，同时，作为半导体制造的关键材料，

也被誉为半导体产业的“血液”，会直接影响半导体产品的性能。在集成电路晶圆制

造过程中，电子特气的使用占比接近14%，系仅次于硅片的第二大耗材。

目前国内自主生产的电子特种气体市场份额占比较小，据中国工业气体工业协会统

计，我国仅能生产约20%的集成电路生产用电子特气品种，高端产能不足，进口依

赖严重。

同时，因为技术、认证周期、资金、资质等数个壁垒，导致目前国际电子特气的产

能已经被垄断。全球和中国电子特气市场均主要被海外公司占据，主要生产商分别

为美国空气化工、德国林德集团、法国液化空气和大阳日酸，合计占据全球电子特

气91%的市场份额，并且在中国占据主导地位。

当然，危机中也孕育着机遇。有分析指出，华特气体作为兼具产品研发和客户优势，

特气产品种类最完备的上市企业之一，有望先行摘得行业红利。据了解，华特气体

的拳头产品光刻气通过了荷兰ASML和日本GIGAPHOTON株式会社的认证，是目前

国内唯一一家通过两家认证的气体公司。

华特气体、金宏气体、中船特气等A股头部气体厂商已成为中芯国际、华虹半导体等

国内集成电路生产企业的特气主要供应商，产品陆续获得台积电、联华电子、德州仪

器、海力士等海外领先企业的认证，部分产品已进入相关企业供应链。同时，电子特

气国产化率仍有较大的提升空间，据前瞻产业研究院预测，到2025年中国电子特气市

场的国产化占比将提高到25%。

业内指出，电子特气的需求在2023年年内或将在集成电路、面板、光伏三大支柱产业

的支持下完成逆转提升。按照过去半导体周期的轮回，这也意味着行业低谷已过，至

2024年，全球半导体设备投资将快速回暖至920亿美元，同比增长21%。随着全球半

导体设备的投资额回升，将带动包括电子特气在内的相关材料需求。