电子气体作用的解密
文章出处：责任编辑：人气：-发表时间：2023-06-01 10:47:49【大
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电子气体作用的解密
什么是电子气体？
特种电子气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、显示面板等电子工业生产中不可或缺的原材料。电子特种气体种类繁多，广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被誉为集成电路、液晶面板、LED、太阳能电池等材料的“食物”和“源头”，决定着器件的最终成品率和可靠性。电子特种气体广泛应用于半导体、微电子及相关太阳能电池等高科技行业，也可用于薄膜沉积、蚀刻、掺杂、钝化、清洁或作为载体、保护气氛等。由于半导体和微电子技术朝着更高性能和集成化的方向发展，电子气体的纯度变得越来越重要。电子特种气体的上游主要是III（硼、铝、镓）、IV（碳、硅、锗）、V（氮、磷、砷）族元素和卤素族元素（氟、氯）的基础化工。下游在集成电路、面板、LED等领域的不同工艺连接中有不同的应用。电子气体是生产集成电路、显示面板等电子行业不可或缺的原材料。2021年，电子气体在集成电路中的使用占43%，其次是显示面板，占21%，LED和光伏系统分别占13%和6%。主要应用环节包括离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等。
什么是常见的特殊电子气体？
高纯度C4F6、SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。为了确保半导体器件的质量和产量，特种气体产品必须同时满足“超清洁”和“超清洁“的要求。“超净”要求气体纯度达到4.5N、5N，甚至6N、7N，作为特种气体的核心参数，随着纯度的每增加一个N，颗粒和金属杂质浓度的每降低一个数量级，都会导致工艺复杂性和难度的显著增加。（N是Ni的缩写，一对N代表几个9，例如3N的纯度为99.9%），“超清洁”需要严格控制颗粒和金属杂质的含量。
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