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反应曲面法——氯气提纯新工艺!
氯气于工业中用途广泛,电子级的氯气,则因其具强氧化性且对硅、二氧化硅具良好选择性,而使用于半导体之乾式蚀刻制程与热氧化层之品质改善工作。以工业级的氯气作为原料,利用吸附,蒸馏等化工单元操作方式,使原料中杂质与氯气分离,达到将工业级的氯气纯化为纯度更高的电子级的氯气之目的,作为下游半导体业者蚀刻等用途。更多 +
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四氟化碳气体处理快闪记忆体的应用你知道么
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。今天纽瑞德特气小编月月为大家带来使用四氟化碳电浆处理三氧化钼之电荷捕捉层在快闪记忆体的应用介绍。更多 +
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揭秘三氟甲烷于高周波电浆系统中的反应机制
很多客户都在纽瑞德特种气体购买过甲烷气体,但是大家听说过三氟甲烷么?从名字上看来三氟甲烷很像甲烷气体的“亲戚“是不是?其实三氟甲烷也是烷烃类的气体之一,三氟甲烷,又称三氟甲,是一种无色、微味,不导电的气体,是理想的卤代烷替代物。三氟甲烷主要用作低温(-100℃)制冷剂,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有机化合物的原料。纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下三氟甲烷在高周波电浆系统中的反应机制以便大家更好的了解三氟甲烷这个产品。更多 +
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二氟甲烷光电子光谱的理论研究
大家都知道甲烷,乙烷,丁烷这些常见的烷类气体,但是大家听说过甲烷的”亲戚“二氟甲烷么?二氟甲烷,是一种卤代烃(化学式:CH2F2),简称R32,也是卤代甲烷的一种。它是甲烷的四个氢原子中的两个被氟原子代替形成的化合物。今天纽瑞德特气小编为大家介绍一下二氟甲烷光电子光谱的理论研究。更多 +
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你了解氦气电浆参数么?
喷射式大气电浆近年极受重视,发展迅速,适合应用于生医、纺织与软性电子基板等之表面处理式镀膜。另一方面,喷射式大气电浆之结构为线性开槽式,所产生之电浆适合应用于传输式处理设备,并易于放大尺寸,具广泛工业应用潜力。今天纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下氦气电浆的各项参数。更多 +
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小议氙气灯换流器数位化
氙气为无色,无味,不燃烧的惰性压缩气体,在空气中含量为90ppm。氙气广泛用于电子、电光源工业。用氙气充填的灯泡与相同功率的充氩灯泡相比,具有发光率高、体积小、寿命长、省电等优点。今天纽瑞德特气小编月月就为大家带来一些关于氙气灯换流器数位化的信息。更多 +
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氧气/氮气流量对掺氮氧化锌特性影响实验
氮气主要用途有:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保 护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延等。今天纽瑞德特种气体就为大家介绍一下氮气流量对掺氮氧化锌特性影响实验。更多 +
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氮气对类钻碳膜的影响你知道多少?
氮气,常况下是一种无色无味无嗅的气体,且通常无毒。高纯氮气用途很多,可用作化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延等。但是大家知道氮气对硅基材上沉积类钻碳膜的形态和性质的影响么?接下来小编月月就为大家带来解说。更多 +
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六氟化硫在氮化硅蚀刻中的作用
六氟化硫是一种绝缘性极佳的气体,经常被用于高压灭弧以及变电器、高压传输线、互感器等当中。但是六氟化硫除了这些功能以外,也可以作为电子蚀刻剂使用。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,被大量应用于微电子技术领域。今天纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下六氟化硫在氮化硅蚀刻中的应用和不同参数的影响吧。更多 +
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小议六氟化硫分子固体的电子激发释气
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能,SF6气体已成为继气体和油之后新一代的绝缘性耐超高压媒质。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料,也可应用于粒子加速器及避雷器中。研究六氟化硫分子的结构以及六氟化硫气体分子的电子激发,我们能够清楚的了解六氟化硫气体的绝缘性。更多 +