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氧气/氮气流量对掺氮氧化锌特性影响实验

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2014-08-21 08:34:00【

  氮气几乎为惰性的双原子气体,化学性质极不活泼,气体分子比氧分子大,不易热涨冷缩,变形幅度小。氮气主要用途有:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保 护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等,还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。今天就为大家介绍一下氮气流量对掺氮氧化锌特性影响实验。

 

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  实验使用反应式离子束溅镀法沉积掺氮氧化锌薄膜,采用阳极层离子源,以锌为靶材,同时通入氩气、氧气及氮气,探讨氧/氮流量对掺氮氧氧化锌薄膜的特性影 响。实验结果显示在氧流量0.5~4.0sccm,氮流量0.5~2.0sccm300°C下所沉积之氧化锌薄膜皆具有ZnO(002)面择优成长特性。未掺氮之氧化锌薄膜皆呈现压缩应力,掺入氮后(002)绕射峰值往小角度偏移且半高宽增加,显示c轴常数增加及晶粒减小。拉曼光谱分析未掺杂之氧化锌得到氧化锌E2(high)436cm-1及A1(LO)580cm-1震盪模式,掺氮后得到275cm-1、580cm-1及640cm-1的掺氮氧化锌的局部震盪模式,代表氮已掺入氧化锌薄膜中。霍尔量测显示氧气流量为1.0sccm时所沉积之掺氮氧化锌在氮气流量大于1.0sccm时可得电洞浓度1015~1017cm-3之p型氧化锌。

 

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