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你了解氦气电浆参数么?

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2014-08-26 08:43:00【

  喷射式大气电浆(atmospheric pressure plasma jet, APPJ)近年极受重视,发展迅速,其可操作于一大气压环境,因此降低对高价真空设备之需求,更重要的是喷射式大气电浆利用射频产生非平衡电浆,其中电子温度与密度极高,其值或数量级约为2eV与1017m-3左右,但气体温度可保持在室温附近(约300 K),因此适合应用于生医、纺织与软性电子基板等之表面处理式镀膜。另一方面,喷射式大气电浆之结构为线性开槽式,所产生之电浆适合应用于传输式处理设备,并易于放大尺寸,具广泛工业应用潜力。今天纽瑞德特气小编月月就为大家介绍一下氦气电浆的各项参数。

 

电浆-纽瑞德特气

 

  本次主要以氦气进行数值模拟计算(採用CFDRC模拟计算软体),配合所考虑的反应式,给予适当的电压与气体流速,探讨各项电浆参数的分布情形。大部分的电浆参数如电子密度、离子密度、或激发态原子密度等,在射频电压可接受范围之内,均是随著时间成长到一定数量而逐渐达稳定,而在本次所使用的1.8mm通道宽度、射频电压350V与气体流速10m/s的条件下,激发态原子密度较电离子密度高约三个数量级。另外并改变射频电压与气体流速等操作条件,比较各项电浆参数的变化,若要提昇通道内的电浆密度,则可藉由提高射频电压与降低气体流速来达成。最后将降激发反应系列所使用之反应速率常数或碰撞截面资料做比较,发现不论採取何种条件进行计算,均不影响其模拟结果。

 

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