这是六氟化硫在工作和生产过程中产生有毒物质的一个条件，这些有毒物质不得渗透到水中。如果六氟化硫气体含有的水分超过规定，当其湿度发生变化时，它可以凝结在固体绝缘表面上，使表面湿润，然后设备的表面放电电压会显著下降。

如果没有水分子，六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解产生的低氟复合气体不会产生SO2、HF等有害物质，以避免它们引起设备腐蚀。因此，在填充六氟化硫时，必须采取严格措施防止水分进入设备。

开工前，必须确定施工现场周围环境空气的相对湿度。≤80%（即空气中的水蒸气与饱和水蒸气在相同温度下的密度比的百分比），这是含有水的六氟化硫气体的具体指示。如果测量不合格，采取行动或重新选择干燥晴朗的天气进行填充。

为了及时排放和更换SF6泄漏气体，必须在主端充满时启动风扇，空气中的SF6含量不得超过1000ppm。检查应在工作开始后的一段时间内进行，在适当情况下，检查应在在中间进行。如果六氟化硫气体含量增加或超过标准，必须立即彻底检查部件，以确定并消除原因。