六氟化硫击穿电压除了与压力有关，还与电极表面的光洁度和洁净度有关；电极表面越洁净、越光洁，其击穿电压就越高。
在同一压力了，六氟化硫的击穿电压随着触头开距的增大而增大，但不是一个线性的关系，而是有一点饱和的意思，而且压力越饱和越严重；所以我们在实践中不能单靠增大触头开距来加强绝缘。
此外，
六氟化硫的击穿电压还与电极的几何形状和触头面积有关；如果电极形状使得电场越均匀，其击穿电压就越高，这里要注意和真空开关不同，电极材料对
六氟化硫击穿电极没有比较明显的影响。
六氟化硫之所以有比较好的绝缘性，是因为六氟化硫具有负电性，就是说六氟化硫分子能够吸附气体中的自由电子，而变成负离子，这种负离子的质量远远大于自由电子的质量，因此运动速度大大降低，此外，间隙中自由电子的数量减少，就难以形成击穿通道。所以其绝缘性能比较好。另外，这种负电性在高温下，也就是在灭弧时也是十分有利的。
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