超高纯氮气等超高纯气体一般用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运

载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。

超高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。

显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用超高

纯氮气置换，再用超高纯氮气置换。

对于超纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体贮存和运输过程中

的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和

运输。

高压钢瓶坚实耐用，运输和使用灵活，气体无损耗，但气体纯度稳定性较差；低温液化

气体容器单位容积贮量很大，但有气体排放损耗。

超高纯氮气的储存是一项细致而严格的工作，需要多方面考虑，从选择合适的储存器到

严格监控储存过程中的各环节，全方位保障氮气的纯度和质量，从而确保其在集成电路、

半导体和电真空器件制造领域的广泛应用。