通常，高纯度六氟化硫是无色、无味、无臭、无毒的不可燃气体，分子量为146.06，密度为6.139g/l，约为空气的五倍。它是已知的具有良好化学稳定性的物质之一，其惯性类似于氮。它具有优异的热稳定性，在纯状态下即使超过500℃也不会分解。

高纯度六氟化硫具有电绝缘和灭弧特性。在相同条件下，其绝缘容量是空气和氮气的2.5倍以上，灭弧容量是空气的100倍。六氟化硫的熔点为六氟化硫大小，在45-0℃的温度范围内可作为特殊制冷剂。由于其良好的耐热性，它是一种稳定的高温热载体。由于上述和其他优异的性能，六氟化硫近年来已用于能源、电子、电气工业、激光、医疗、气象、寒冷、消防、化工、军事、航空航天、有色金属冶金、物理研究等领域。已被广泛使用。

六氟化硫具有良好的绝缘性能和灭弧性能，如断路器、高压变压器、气体封闭组合电容器、高压输电线路、变压器等。电子高纯度六氟化硫是微电子技术领域广泛应用的理想电子蚀刻剂。作为制冷剂，制冷行业的制冷范围可以在-45℃到0℃之间。电气行业使用其高介电强度和良好的灭弧性能作为高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。

采矿业使用六氟化钙硫作为反向吸附剂，以取代煤尘中的氧气。高纯度SF6由于其化学惰性、无毒、不易燃、无腐蚀性，也广泛应用于金属冶炼（如镁合金熔炼炉屏气）、航空航天、医药（X光机、激光机）、气象（示踪分析）、化工（汽车轮胎、新型灭火器）等领域。随着科学技术的发展，SF6在越来越多的基础领域和科技领域得到了广泛的应用。