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六氟乙烷的应用

文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2022-12-19 10:26:00【

 电子工业:六氟乙烷作为等离子体蚀刻的工作气体,在微电子工业的发展中发挥着重要作用,是处理超大规模集成电路的必要介质;

2.制冷和空调行业:六氟乙烷用作制冷和空调的制冷剂。六氟乙烷也可以与HFC-23形成共沸物R-508B,这不会破坏臭氧层。R-508B在多级压缩循环的低温段中用作CF-13和R-503的替代品;
3.化学工业:六氟乙烷可作为化学反应中的氟化物添加剂;
4.能源工业:六氟乙烷可作为电气设备的绝缘剂和高介电强度的冷却剂;
5.其他:六氟乙烷可用于设备表面清洁和纤维生产。