六氟化硫气体或再生气体的含水量应严格控制，不得超过国家标准。在操作过程中，高纯度六氟化硫的含水量可能较高，但不能超过六种气体操作的国家标准值。重新充气时，在使用前重新测量储存半年以上的气瓶的微水含量。国家标准中高纯六氟化硫气体的含水量不得超过8ppmw。

改善六氟化硫气体高压电器在组装、维护和检查过程中的环境条件，监测环境湿度，施工现场湿度不得超过80%。安装和维护人员必须遵守相关工艺的要求，在施工现场进行组装和维护，以保持设备中绝缘部件和组件的清洁度，因为如果绝缘部件表面存在一些污垢，绝缘部件的表面绝缘电阻降低到几个数量级。这导致绝缘部件的表面放电应力大大降低。

试验和理论分析证明，如果绝缘体表面不存在可降低绝缘电阻的污垢，则冷凝液本身不会显著降低其表面绝缘能力。换言之，在组装和维护期间，必须保持绝缘部件表面清洁。组装前，可用丙酮清洁表面，使用期间绝缘零件的表面也必须保持清洁。必须妥善维护六氟化硫气体管道。充气前，必须彻底冲洗管道，以防止湿气进入设备。

水分对高纯度六氟化硫气体和设备有很大影响。sf6气体中的水分含量直接关系到气体绝缘电阻的水平和设备的安全运行。在设备中，必须严格控制气体中的微水含量。只有将SF6气体中的微水含量控制在国家标准规定的范围内，才能减少水对SF6气体和设备的影响，确保气体绝缘强度的稳定性和设备的安全运行。