一般的合成方法如下。
直接合成法:氟化物纯化(HF≤0.5%)与硫反应，生成六氟化硫和少量S2F10、SF4、SF2、S2F2。很多杂质气体可以通过水洗和碱性冲洗来去除。然后S2F10在热分解炉(300 ~ 350℃)中分解为SF6和SF4。用碱性清洗去除杂质。净化后的SF6气体用硅酮和分子筛干燥器干燥，生产六氟化硫产品。六氟化硫是在无水氟化氢中加入硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氢，以镍为阳极电解得到的。或者氟和硫直接反应，得到六氟化硫。
它可以在300°c时在空气中氧化四氟化硫，也可以在500 ~ 2000°c时热分解。核反应堆使用了长约300毫米、直径约25毫米的镍管。一艘装满硫磺粉的镍船被放置在那里，反应管连接在液态氧冷却的石英疏水阀上。装置的末端连接在具有新型脱水KF的铁干燥管上，以阻隔空气中的水分。硫磺在氟流中燃烧，用冷阱冷凝得到的产品。然后对产品进行气化和清洗，去除杂质(HF、SF2、SF4、SOF2和S2F10)和10%热KOH溶液(不含NaOH)。用P4O10干燥产生的气体，在室温下用活性炭除去S2F10。
3 .过量的F2燃烧SO2会产生SF6。反应温度约为650℃，产物用冷阱冷凝，除SF6以外的主要杂质是SO2F2。将水倒入装有10% KOH热溶液的瓶中，然后用P4O10烘干。
4.元素氟与硫直接反应的方法。
5.直接电解法:将硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氢等加入无水氟化氢，可得到六氟化硫。可以得到以镍为阳极的电解。对电解无水氢氟酸硫化氢，镍为极，铁为阴极，温度为-10°c至20°c，电压为7至20v。电解产品必须除去杂质。用金属氧化物作为催化剂的催化氧化法，由于在300℃在空气中氧化四氟化硫，有效率低的缺点。
6.热分解方法:使SF4在500 ~ 2000℃下热分解，但转化率和收率都很低。SF4也可以通过微波放电分解。氟化钴法是在三氟化钴和二氯化钴的氟过量存在时，使用硫或其他硫化物生成六氟化硫的方法。用氟燃烧二氧化硫。
7.热电联产方法:六氟化硫甲烷，六氟化碳(COF2)，六氟化硫。