氦质谱检漏：工业检测的灵敏守护者  

氦质谱真空泄漏检测方法由于其独特的原理和技术优势，在工业检测中占有重要地位。以下是其

主要优点和具体分析：

氦质谱检漏是目前已知灵敏度最高的检漏技术之一，最小可检漏率可达到 5×10 −12Pa⋅m  3/s 甚

至更低

。其核心原理是通过质谱仪选择性地识别氦离子，即使是极少量的氦泄漏也能被准确地捕捉到。

例如，在真空喷射法中，氦分子可以通过小漏孔快速进入检测系统，显著提高

。在喷射法或吸枪法操作中，通过扫描被检件表面，可以快速锁定漏点位置。例如，喷枪用于喷枪。

≤扫描8mm/s的速率时，一旦检测到氦峰信号，就可以反向慢慢扫描，准确定位漏点

复杂结构适用性:大型或异形工件(如航天器密封舱)可通过氦罩法或真空压力法检测到，覆盖传统方

法难以触及的区域

现代氦质谱泄漏检测仪集成了计算机控制技术，支持自动校准、数据记录和分析。例如，该设备可

以自动调节离子加速电压以匹配氦峰，并通过软件实时显示泄漏曲线，以减少人工操作误差

。例如，在航空领域，泄漏检测系统需要满足泄漏指标灵敏度要求的1/10，氦质谱泄漏检测仪可

以通过校准泄漏修正温度等因素来保证长期稳定性

氦质谱真空泄漏检测方法以其高灵敏度、快速响应、广泛适用性和安全性，已成为精密制造和高密

封行业的核心检测手段。随着自动化技术的深入应用，其在新能源、半导体等领域的价值将进一步

凸显。