高纯六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。采矿工业用作时六氟化硫可用作反吸附剂，用于矿井煤尘可以置换氧。
作为重要的温室效应气体之一的高纯六氟化硫，主要用于电子制造业、电气设备、金属熔炼以及大气示踪之上。作为
六氟化硫的重要消耗产业，为了符合环保要求通过研究技术改进，电子制造业和大气示踪已基本停止对
六氟化硫气体的使用。
高纯六氟化硫还因化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性，被广泛用于金属冶炼、航空航天、医疗(X光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工(***汽车轮胎、新型灭火器)等。金属熔炼方面，通过混合气体使用已经大幅降低了高纯六氟化硫的用量，并且还在不断改进之中。
如今，国内对
六氟化硫气体的环保关注的声音逐渐增加，作为消耗量较大的电气设备方面，电气设备本身还在不断的拓展六氟化硫设备的新技术应用。
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