电子气体品质关乎半导体器件性能提升

在集成电路、平面显示设备、太阳能等电子工业生产环节，从芯片生产到最终设备

包装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体堪称电子制造的

“血液”。电子气体成本仅占IC材料总成本的5%-6%，但即使某一特定杂质超标，也

可能导致产品严重缺陷，甚至因不合格气体的扩散而污染或报废整个生产线。因此

，电子气体的质量在很大程度上决定了半导体设备的性能。每次电子气体纯度提高

一个数量级，都会极大地促进半导体设备质量的飞跃。

影响电子气体纯度和质量的主要因素包括：气体生产和充装、气体混合和杂质监测

，以及气体的运输和储存。

气体的生产和充装

电子气体生产存在许多瓶颈，从原材料纯度到合成过程、温度和压力控制，再到净

化方法和分析方法，以及产品充装过程中杂质的控制，每个环节都会影响整个产品

的质量。

气体混合和杂质监测

对于混合气体，比例的精度是核心参数。随着产品成分的增加和制备精度的提高，

客户经常要求气体供应商对各种PPM甚至PPB浓度的气体成分进行精细操作，制备

过程的难度和复杂性也显著增加。此外，气体分析检测和杂质监测也提出了更高的

技术要求。

气体的运输和储存

在储运过程中，电子气体需要用优质的气体包装储运容器，以及相应的气体输送管

道、阀门和接口，以避免二次污染。

电子特种气体，包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、四氟环丁

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特种气体的生产和销售。中国特种气体一站式供应商，品类齐全，库存大，现货供

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