根据气体性质和供应包装的不同，一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。

电子气体行业的定义

电子气体是电子工业生产不可缺少的原料，如超大规模集成电路、平面显示器、复合半导体器件、太阳能电池、光纤等。它们广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。

电子燃气需求分析

电子气体传输系统是指电子气体从气源端稳定传输至工艺生产设备的气体消耗点，无二次污染，并控制工艺所需的流量和压力等参数，满足工艺过程的要求，充分保证工艺和产品的安全使用。

根据中国报告厅发布的报告，消费电子产品种类繁多，现代化程度越来越高，不同生产规模和水平的生产设施和科研设施与同类产品共存。根据投资规模和产品质量的不同实际要求，行业对电子输气系统基本有以下三类要求：

1.1大型供气系统

大规模供气系统主要针对大规模生产8-12英寸（1英寸=25.4mm）大型集成电路（气体类型包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等）、100MW以上太阳能电池生产线（气体类型包含NH3）、LED外延工艺线（气体种类包括NH3），五代以上LCD设备（气体种类包括4,3，nf3）玻璃纤维（气体种类包含SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类含HCL）等行业。他们投资规模巨大，采用最先进的工艺设备，天然气需求量大。他们对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出了最高要求。

上述工厂的大宗天然气主要通过现场采气或工业园区内的管道供应。年产5万片的8英寸超大规模集成电路厂对高纯氮气的需求超过5000Nm3/h，LED外延工艺线和硅外延生产线的氢气需求超过100Nm3/h。

除了装在普通钢瓶（50L和底部）中的特殊气体外，通常还有许多种特殊气体装在大容器中，因此称为散装特殊气体，包括Y钢瓶（450L）、T钢瓶（980L）、钢瓶架（940L），ISO罐（22500L）、鱼雷车（13400L）等。

散装专用供气系统（BSGS）采用全自动PLC控制和彩色触摸屏；气体面板采用气动阀和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气冲洗和自动真空辅助排气；多重安全措施、泄漏检测、远程紧急停机；特殊氮冲洗的来源等。特殊气体采用独立气源，多功能点采用VMB或VMP分支供气，分支气动阀、氮气冲洗、真空辅助排空等。用于VMB或VMP。由于BSGS气源量大，通常使用独立的气室和独立的通风系统。

1.2常规送风系统

传统供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路系统、50MW以下太阳能电池生产线、LED芯片加工线等中耗气电子行业。他们的投资规模中等。生产线可以使用设备。控制气体纯度的要求不严格。系统配置尽可能简单，以节省投资，前提是满足安全要求。

传统供气系统中的大多数普通大型天然气由现场液体储存（LIN、LOX、LAR）或容器网络（H2、He）供应。天然气通过管道系统输送至工厂，天然气通过三通直接输送至用气点。