水分是六氟化硫设备产生有毒物质的条件。如果六氟化硫气体的含水量超过规定的含水量，当其含水量发生变化时，它可以在固体绝缘表面上冷凝，使表面湿润，然后设备的表面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解产生的低氟复合气体不产生SO2、HF和其他有害物质，无需水分子的外部状态，以避免其引起的设备腐蚀。因此，当向设备中注入六氟化硫气体时，必须采取严格措施防止湿气进入。

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（1） 开始工作前，首先测量周围空气的相对湿度≤80%（即在相同温度下空气中的水蒸汽密度与饱和水蒸汽密度之比的百分比），这是空气中水分含量限制的具体指示。如果试验不合格，应采取措施或重新选择干燥晴朗的天气进行填充。

（2） 为了及时排放和更换SF6泄漏气体，必须在主尖端充满时打开风扇，并且必须仔细遵守空气中SF6含量不得超过1000ppm的规定。检查应在工程开始后的一段时间内进行，横向检查应根据具体情况在路径中间进行。如果SF6气体含量增加或超过标准，应立即详细检查部件，以找出并消除原因。