六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能，SF6气体已成为继气体和油之后新一代的绝缘性耐超高压媒质。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料，也可应用于粒子加速器及避雷器中。研究六氟化硫分子的结构以及六氟化硫气体分子的电子激发，我们能够清楚的了解六氟化硫气体的绝缘性。

  学者们研究了在动能为70、170和182电子伏特的电子照射下，从六氟化硫分子固体表面脱附的正离子电子激发释气。在动能为70电子伏特的电子照射下，我们观测到价层电子激发释气的正离子产物为氟、硫与SFn(n为一到五)的单价离子。在动能为170或182电子伏特的电子照射下，S2p核层电子激发释气的正离子产物为氟、硫、SFn(n为一到五)的单价离及硫的二价离子。价层电子激发释气主要是由70电子伏特的电子将六氟化硫分子的价电子激发至未被佔据的轨道。经由MGR的脱附机制或KF模型之欧杰衰减过程产生正离子脱附。核层电子激发释气主要是由170或182电子伏特的电子将S(2P)能阶的电子激发至6a1g或2t2g分子轨道，经由欧杰衰减过程，形成多孔洞激发态而导致脱附。比较入射电子动能为70电子伏特之六氟化硫气体分子的电子激发解离性游离实验，与六氟化硫分子固体之电子激发释气实验结果，我们认为分子固体表面的电子对于未解离前的激态分子之遮蔽效应及对解离后产生的正离子之再中性化是导致两个实验差异的主要因素。

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