1、
SF6虽然无毒，但密度大，不易稀释和扩散，是一种窒息性物质，在故障泄漏时容易造成工作人员缺氧，中毒窒息。
2、SF6气体在电场中产生电晕放电时会分解出来SOF2（氟化亚硫酰）、SO2F2（氟化硫酰）、S2F10（十氟化二硫）、SO2（二氧硫）、S2F2（氟化硫）、HF（氢氟酸）等近十种气体。这些氟、硫化物气体都有毒性，而且S2F10还具有剧毒性和腐蚀性。如对铝合金、瓷绝缘子、玻璃环氧树脂等绝缘材料，能损坏它们的结构；对人体及呼吸系统有强列的刺激和毒害作用。SF6 气体的这些缺点，构成了SF6电气设备在安全防护方面的主要问题。
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