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高纯硅烷和普通硅烷的品质指标对比
高纯硅烷的品质无统一规定，各个生产单位生产的硅烷品质通常有微小差别。下标是5N、6N级高纯硅烷和普通硅烷品质指标。 从表中可以看出，5N级硅烷除氢气、氦气外，杂质气体氧（氩）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他杂质气体均在0.2ppmv。6N级硅烷均控制在0.1ppm。普通硅则高了一个数量级，氯化物甚至达到了15ppmv，高了两个数量级。更多 +
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国内高纯硅烷灌装流程
高纯硅烷灌装前，首先利用高纯氮气、氦气对系统进行高压检漏，真空置换。然后分析气源，气瓶是否合格，待一切准备就绪后，生产储罐输送来的高纯硅烷气经压缩机增压后通过灌装控制面板充入已准备就绪的容器中，完成灌装后，系统自动切断。随后更换下一批容器进行灌装。如果灌装时间间隔较长，灌装完成后，应对系统进行减压、置换，不可使系统中长期存有硅烷。 硅烷灌装示意流程见下图更多 +
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进口高纯氙气市场规模
近年来，我国高新技术持续快速发展，计算机工业对大规模集成电路及液晶显示器的需求大量增加。近年来，我国大力发展新型能源，市场对多晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池的需求量也与日俱增。此外，新型电光源、光电半导体器件、光纤通讯器件也获得迅猛发展，在上述高新产品的生产中，都需要大量氙气 氦气、氪气、氖气、氙气、氨气、四氟化碳、硅烷、八氟环丁烷、六氟化硫等特种气体，以制造出性能可靠的各种器件。 随着我国制造业的发展，未来我国工业对进口高纯氙气需求仍将快速增长，我国特种气体行业的市场规模有望保持20更多 +
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易燃易爆有毒类电子工业用硅烷锗烷气体检测新技术通过验收
易燃易爆有毒类电子工业用硅烷锗烷气体检测新技术研究通过验收，本项目所设计和制备的气体预处理系统有望发展建立一种新的快速、安全、简便的易燃、易爆、有毒类电子工业气体纯度检测分析技术，也有望推广到其他类似电子工业气体纯度的检测，具有一定的学术理论意义，且具有广阔的应用前景。更多 +
