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高纯硅烷和普通硅烷的品质指标对比

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2018-07-27 10:57:00【
 
高纯硅烷的品质无统一规定,各个生产单位生产的硅烷品质通常有微小差别。下标是5N、6N级高纯硅烷和普通硅烷品质指标。
 
 
从表中可以看出,5N级硅烷除氢气、氦气外,杂质气体氧(氩)、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv,其他杂质气体均在0.2ppmv。6N级硅烷均控制在0.1ppm。普通硅则高了一个数量级,氯化物甚至达到了15ppmv,高了两个数量级。
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