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电子特种气体是特种气体的一个重要分支
特种电子气体(以下简称特种电子气体)是特种气体的一个重要分支,是集成电路(IC)、平面显示设备(LCD、LED、OLED)、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。 电子气体广泛应用于电子产品的工艺,如离子注入、蚀刻、气相沉积、掺杂等。电子半导体器件的性能与电子气体的质量密切相关。 产业链上下游 工业气体工业的原料是空气、工业废气、基础化学原料等。其上游产业为气体分离和清洁设备、基础化学原料工业、压力容器设备等。下游领域包括集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、更多 +
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电子级气体污染控制要求日趋严格,您了解吗?
随着消费电子产品的升级,产品的制造规模越来越大,产品成品率和故障控制越来越严格。整个电子工业对电子气源的纯度和消除传输系统中的二次污染的要求越来越严格。 原则上,行业提出的电子气体污染和颗粒尺寸的技术指标与分析设备技术进步导致的检测限(LDL)直接相关。例如,传统的激光颗粒测试仪可以测量0.1μm,而核心凝固技术(CNC)可以达到0.01μm。 目前,12英寸超大规模集成电路生产线的宽度已发展到45nm。散装气体的纯度必须在ppt水平,粒度控制直接参考CNC分析仪的下限。实验室的超亮更多 +
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电子级气体大流量、不间断、稳定输送的发展趋势
电子质量气体具有大流量、连续稳定传输的发展趋势,从而满足大型量产工厂对电子质量气体大流量、持续稳定传输的要求,是一个挑战。 电子气体倾向于集中供应,特殊气体放置在气室中。根据机器的流量要求合理配置输送系统的数量。专用输气设备必须采用全自动切换供气,并设计更多备用设备。对于低蒸气压气体(WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等),有必要进行气缸加热、气板加热、管道跟踪等。考虑到,为了精确控制流量,一般假设采用高精度压力变送器、电子天平、温度控制器等。在空气源的末端。机器的气体消耗点也配有质量流量计更多 +
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介绍电子级气体的小知识
天然气行业术语。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。它可以分为三类:纯气体、纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯度气体主要用作稀释气体和载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。根据纯度和用途,电子气体可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)和ULSI(超大规模电路)级。 优质电子气体是集成电路、光电子、微电子技术发展不可或缺的基础材料,特别是在VLSI、LCD器件、半导体灯和半导体材料的制造过程中。它被称为电子行业的&ldquo更多 +
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电子级气体未来发展面临的挑战有哪些?
我们都知道电子气体是危险的。电子气体的未来发展面临哪些挑战? 1.电子气体污染的控制要求越来越严格:随着电子消费品的升级,产品的制造规模越来越大,对产品成品率和缺陷的控制越来越严格。整个电子工业对电子气源的纯度和消除传输系统中的二次污染的要求越来越严格。原则上,行业提出的电子气体污染和颗粒尺寸的技术指标与分析设备技术进步导致的检测限(LDL)直接相关。例如,传统的激光颗粒测试仪可以测量0.1μm,而核心凝固技术(CNC)可以达到0.01μm。 2、流量大,输送连续稳定:电子气倾向于集更多 +
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高纯氨气制取的四项关键技术
高纯度氨产品是光电子和微电子技术不可或缺的支撑材料。它广泛应用于半导体照明、平板显示器、太阳能电池和大型集成电路的制造。高纯度氨的质量直接影响材料的光学和电学性能,甚至影响设备的使用寿命。国内外都有巨大的潜在市场。随着国内半导体工业的发展,对高纯度氨的需求快速增长,高纯度电子气体的国产化是必然的发展趋势。 高纯度氨也是通过有机金属化学气相沉积(MOCVD)技术生产第三代复合半导体材料氮化镓(GaN)的重要支撑材料。MOCVD生产氮化镓(GaN)要求所用的氨必须是高纯度和超清洁的,纯度为7N(99.99更多 +
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三氟化氮等特种电子气体高速发展
近年来,《中国制造2025》、《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》、《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》等政策扶持,我国超大规模集成电路、LCD器件、非晶硅薄膜太阳能电池等产业发展迅速。与此同时,随着这些行业的快速发展,含氟特殊电子气体也有了很大的增长。 常见的含氟特殊电子气体有六氟化硫(sf6)、六氟化钨(WF6)、四氟化物(CF4)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)、六氟乙烷(C2F6)和八氟丙烷(C3F8)。 三氟化氮(NF3)是一种含氟特殊气体,是市场更多 +
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电子气体定义及需求分析
根据气体性质和供应包装的不同,一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。 电子气体行业的定义 电子气体是电子工业生产不可缺少的原料,如超大规模集成电路、平面显示器、复合半导体器件、太阳能电池、光纤等。它们广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。 电子燃气需求分析 电子气体传输系统是指电子气体从气源端稳定传输至工艺生产设备的气体消耗点,无二次污染,并控制工艺所需的流量和压力等参数,满足工艺过程的要求,充分保证工艺和产品的安全使用。 根据中国报告厅发布的报告,消费电子产品更多 +
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常规供气系统和简单供气系统
电子气体是指用于制造半导体、平板屏幕、发光二极管、太阳能电池等电子产品的基本原材料。广泛用于清洁、蚀刻、成膜、掺杂等工艺。电子气体的主要应用包括电子工业、太阳能电池、移动通信、汽车导航和汽车音频和视频系统、航空航天等许多领域。基于投资规模和产品质量的不同实际要求,行业内对电子输气系统的要求基本上有三种类型。我们之前与您共享了一个大型供气系统,然后与您共享一个常规供气系统和一个简单供气系统。 常规供气系统 传统供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路系统、50MW以下太阳能电池生产线、LED芯片工艺线等更多 +
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车间怎么预防六氟化硫中毒?
六氟化硫,我们可以留下新一代的超高压介电材料。气体作为一种良好的绝缘体,在电子气体业务和电气工程设备绝缘中得到了广泛的研究。更多 +