电子气体是指用于制造半导体、平板屏幕、发光二极管、太阳能电池等电子产品的基本原材料。广泛用于清洁、蚀刻、成膜、掺杂等工艺。电子气体的主要应用包括电子工业、太阳能电池、移动通信、汽车导航和汽车音频和视频系统、航空航天等许多领域。基于投资规模和产品质量的不同实际要求，行业内对电子输气系统的要求基本上有三种类型。我们之前与您共享了一个大型供气系统，然后与您共享一个常规供气系统和一个简单供气系统。

常规供气系统

传统供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路系统、50MW以下太阳能电池生产线、LED芯片工艺线等中等耗气电子行业。他们的投资规模中等。该生产线可作为设备使用。控制气体纯度的要求并不严格。在满足安全要求的情况下，系统配置尽可能简单，以节省投资。

常规气体供应系统中的大部分普通大型气体由现场液体储存（LIN、LOX、LAR）或集束供应。气体通过管道系统输送至工厂，气体直接通过三通输送至气体消耗点。

特殊气体由普通钢瓶（<50L）供应。特殊输气系统采用气瓶柜。配有自动PLC控制和彩色触摸屏；气体面板采用气动阀和压力传感器，可实现自动切换、自动氮气冲洗和自动真空辅助排气；多种安全措施，泄漏检测，远程紧急停机；氮气冲洗的来源等。VMB采用双气动阀、氮气冲洗和真空辅助抽空。惰性气体采用半自动气罐、继电器控制、自动切换、手动冲洗、手动放空；VMB主管气动阀，氮气冲洗；分流阀、氮气冲洗、真空辅助排气。气室和排气系统根据气体类型进行分类。

轻松供气

简易供气系统主要针对4英寸及以下尺寸的半导体芯片工厂和半导体材料研究所。它们的制造工艺简单，通常不需要连续供气，供气系统的投资预算低，生产和管理人员缺乏安全意识。

由于气体流量低，通常使用普通钢瓶（<50L）作为特殊气源。半自动气瓶柜或气瓶车主要用于输送系统，配有继电器控制、自动切换、手动冲洗、手动排气和有害气体紧急切断阀。惰性气体瓶架采用全手动系统，有些甚至使用单瓶系统。它共享一个气室，甚至没有气室。特殊气瓶和输送系统有时放置在回风管道中或工艺制造厂旁边。共用一个排气系统。该系统通常具有潜在的安全风险。