同位素硼：半导体工艺中的隐形英雄  

同位素：有?类物质具有相同的质?数，不同的中?数，它们占据化学元素

周期表的同?位置，我们称之为同位素（Isotope）。

整个芯片行业比较大，专注于芯片制造过程中的离子注入等过程。硼-10(以

下简称“10B”)和硼-11(以下简称“11B”)在自然界中的比例是11。:但是在离子

注射过程中，需要高丰度的11B。所以，为了满足所需的丰度，我们采用了

持续分离和去除10B的过程。举例来说，我们产品硼的纯度可以达到99.999%

，但是仍然不合格。尽管硼的纯度很高，但是为了达到更高的纯度11B，我

们仍然需要将10B的含量降低到更低的水平。
同位素硼的工业市场前景十分广阔。同位素有10B和11B两种，我们丰富的

10B能吸收中子，因此在核电行业，尤其是在安全环节，需求量很大。半导

体行业，虽然不需要10B，但对11B的需求却很大。所以，如果我们在10B和

11B中获得高丰，它不仅可用于核电行业，也可用于半导体行业。

有一种非常流行的方法叫做硼中子捕获疗法，简称BNCT，主要针对脑胶质

瘤。它是用10B吸收中子后的一种。α衰变，α衰变半径很短，只是癌细胞的

半径，从而破坏癌细胞。所以硼被广泛使用。它需要半导体、核电和医疗。

只要它能分离出高丰度的硼，当然。
现在，人类已经发现了13种同位素硼，其中11种是放射性的，只有10B和11

B是稳定的同位素，没有放射性。在半导体和电子芯片制造过程中，10B具

有很强的中子吸收能力，而11B几乎不吸收任何中子。这一差异决定了10B

作为核电和医疗领域的基础材料，而三氟化硼-11气体(以下简称11BF3)作为

高端半导体产品制造的电子特性，是半导体和电子芯片制造过程中的消耗材

料。

武汉纽瑞德特种气体公司供应同位素硼，有需要可联系洽谈400-6277-838。