在电子器件生产工艺中．广泛使用了各种高纯气体．按工艺中高纯度气体的不同用途，可将其分为保护气、反应气和载气.

  用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气．在国内为获取氢气和氨气，为获得较高纯度的氢气，一般都采用电解纯水的方法制取．这种方法需用大量电能来电解水，一般达4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高.

  为减少电能消耗，降低成本，都在研制和应用各种混合气．其中，以应用氮－氢混合气为最多．国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气， 也有采用液氮分解法获得氮氢混合气的．

  用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法，由于采用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高． 国外，由于生产的专业化程度高，使用单位多采用这种方法获得混合气． 国内若从专业厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍．由液氨分解获得的氮氧混合气，由于液氮来源不同，大多数质量较差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质．此外，液氮多来源于化肥厂，目前，供应上较紧张，故成本也较高．

  氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气，还可广泛用于冶金、化工、机械等行业． 一旦广泛推广应用，必将产生可观的经济效益和社会效益．

  一、氢氮混合配气工作原理； 

　　本装置以含氢75％、氮25％的氢氮混合气为原料，通过调节阀调节，加入纯氮气中，获得稳定的具有一定比例的氢氮混合气。在按需调准。 

  二、氢氮混合配气设备主要组成及功能； 

　　1、调节阀； 

　　2、氢分仪； 

　　3、智能显示调节仪； 

　　4、电气转换器； 

　　5、过滤减压器； 

　　6、混合罐； 

　　7、配比流量计 

  三、氢氮混合配气工艺流程； 

　　原氢氮混合气经阀，调节阀调节加入纯氮气中，配比气经混合罐混合，混合后的配比气经氢分仪分析，显示氢的百分比含量，氢分仪把氢的百分比含量转换成4-20mA的电流信号，智能显示调节仪把氢分仪的电流信号与设定值相比较计算，计算结果转换成4-20mA的电流信号驱动电气转换器，转换成气压信号，调节阀阀芯的行程和气压信号成正比，从而达到调节混合比例的功能。