六氟化硫的其他用途。
另外，在镁合金的溶解中，六氟化硫气体或六氟化硫和氮的混合物经常被用作保护气体。目的是防止金属镁及其合金被空气氧化。

六氟化硫通常在tft - lcd面板工厂和其他微电子产业中作为清洁气体和蚀本气体使用。六氟化硫在光导纤维的生产过程中，经常被用作单膜纤维绝缘层的掺杂物。

六氟化硫通常在大气污染监测和水文地质学调查领域作为指示剂使用。六氟化硫无毒、安全、性能稳定、检测方法可靠、在空气和水中的含量低，因此常被用作气体示踪剂。六氟化硫的消失距离可达100公里。