六氟化硫是一种高浓缩倍数窒息可引起呼吸困难，气喘，皮肤和粘膜，蓝抽搐。和吸入20％氧气几分钟六氟化硫的混合物的80％将导致麻木和甚至窒息。在中国，所述操作的室内空气浓度不应超过的不超过18％可允许的六氟化硫6gm3的空气或氧气含量，在短的接触，空气中不应超过六氟化硫7.5 GM3的允许浓度。六氟化硫是惰性气体，毒性较小，但它会窒息身体。低的氟化合物和氧氟化物的生命将使用和有毒硫少量过程中断裂。

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