八氟环丁烷：高端工业的战略气体

武汉纽瑞德特种气体有限公司是一家专业生产和销售高纯氦、氢、氮的公司。
各种纯度和规格齐全。请拨打400-6277-838咨询。

第一，八氟环丁烷的关键特性和工业价值

八氟环丁烷（C4F8）作为全氟环丁烷类物质，其无气味、不易燃、高热稳定性(分解温度＞250℃)

和低极性成为高端工业领域的战略功能气体。其分子对称结构赋予优异的化学惰性，在极端环境下

保持质量稳定，为高精度行业提供基础材料保障。

•等离子蚀刻：在90nm以下的先进工艺中，C4F8硅晶圆纳米微结构加工作为主要蚀刻气体，通过精

确控制氟自由基浓度，提高了集成电路的良品率；

•设备清洗：在高温等离子态下分解生成活性氟原子，有效清除CVD反应腔内的硅基残留物，保证设

备高效运转。

•环保型制冷剂：ODP(臭氧消耗潜值)为0，GWP明显小于传统氟利昂，适用于超低温冷冻机组和变

频空调系统；

•分级纯度控制：99.9%的量产(工业型)、99.98%(电子级)、99.999%(半导体级)商品，

含氧量≤0.002%、水份≤满足EUV光刻气规范的0.001%；

伴随着第三代半导体（GaN、SiC）随着柔性电子设备的兴起，纽瑞德已经储备了8N级(99.99999%)

超纯CC。C4F8中试产品，突破国内光刻气纯度瓶颈。同步开发低GWP替代品(如六氟丁二烯)，帮助客

户应对欧盟F-Gas法律法规的限制。

八氟环丁烷正在从“功能材料”升级为“工业变革模块”——其界限不断扩大，从量子芯片的热管理介质到

深空探测器的离子推进剂。通过材料基因库建设和应用领域的预研，纽瑞德不断推动特种气体价值的

转变。

纽瑞德电子气体有限公司以纯度控制为基础，以应用创新为引擎，以绿色环保为责任，在八氟环丁

烷行业构建了覆盖“基础材料-工艺方案-循环经济”的技术生态。未来，半导体、新能源和生物医学领

域的赋能价值将继续深化，中国高端制造材料的自主化进程将得到推动。