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半导体中的第二大材料电子特气是什么?

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2022-07-19 11:20:00【

 在芯片制造过程中,不仅需要光刻机、蚀刻机、光刻胶、硅片等核心设备或材料,还需要工业中一种称为电子气的特殊气体。特种电子气体作为产业链中的上游原料之一,参与蚀刻、清洗、外延生长、离子注入等各个环节。它们是整个芯片制造业不可或缺的,因此被称为半导体的“血液”。

由于电子气体影响集成电路的性能、集成度、成品率等关键指标,因此对电子气体的纯度有很高的要求。由于主要的工艺困难,电子气已成为第二大材料,其成本份额仅次于硅片。

随着芯片制造工艺的小型化,半导体生产对电子气体的纯度提出了更高的要求。这进一步增加了中国企业打破外国在高端电子气体领域垄断的难度。

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什么是电子气?

电子气体广泛应用于电子产品的加工过程中,如离子注入、蚀刻、气相沉积、掺杂等工艺。它被称为集成电路、液晶板、LED和光伏材料的“食物”和“来源”。电子半导体器件的性能与电子气的质量密切相关,因此电子器件也被称为半导体制造的“血液”。

在半导体行业的原材料份额中,电子气是仅次于大型硅片的半导体材料第二大市场需求。随着半导体工业的发展,电子气体市场也在不断增长。2017年,全球特种电子气体市场规模为38.92亿美元,2018年,特种电子气体市场规模为45.1亿美元,比上年增长15.9%。

特殊电子气体包括集成电路、面板、光伏和光纤制造的许多互联。它们是制造过程中的关键材料,其质量直接影响电子器件的产量和性能。目前,在半导体工业的各种化合物中使用的特殊气体有110多种,通常使用20-30种。

电子气在许多集成电路中起着重要作用,尤其是在半导体薄膜的沉积中。它是形成薄膜的最重要原料之一。

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特殊电子气体主要用于LCD行业的成膜和干法蚀刻工艺。液晶显示器有多种类型,其中TFT-LCD因其响应时间快、图像质量高、成本逐渐降低而成为应用最广泛的液晶显示器技术。TFT-LCD面板的制造过程可分为三个阶段:前阵列、中间单元和后模块安装。电子气体主要用于前阵列工艺的成膜和干法蚀刻阶段。经过多次成膜过程,在衬底上沉积了SiNx非金属膜和栅、源、漏和ITO等金属膜。

电子气体主要用于LED照明中LED外延晶片和芯片的制造过程。LED的主要生产工艺包括外延晶片生长、芯片加工和封装应用。特殊电子气体主要用于外延晶片生长和芯片加工。(LED是发光二极管的缩写。它是一种新型的半导体固态发光器件,具有高光速、良好的光质、低能耗、安全环保的优点。它是新一代光源和绿色光源)。

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电子气体在两种主流太阳能电池,即太阳能晶体硅电池和薄膜太阳能电池的生产中发挥着重要作用。太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体芯片。由于太阳能是可再生的清洁能源,太阳能电池具有广阔的发展前景。太阳能电池芯片是太阳能电池的核心部件。电子气体在太阳能电池的许多生产化合物中起着重要作用,包括扩散、蚀刻、沉积和其他过程。

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