在芯片制造过程中，不仅需要光刻机、蚀刻机、光刻胶、硅片等核心设备或材料，还需要工业中一种称为电子气的特殊气体。特种电子气体作为产业链中的上游原料之一，参与蚀刻、清洗、外延生长、离子注入等各个环节。它们是整个芯片制造业不可或缺的，因此被称为半导体的“血液”。

由于电子气体影响集成电路的性能、集成度、成品率等关键指标，因此对电子气体的纯度有很高的要求。由于主要的工艺困难，电子气已成为第二大材料，其成本份额仅次于硅片。

随着芯片制造工艺的小型化，半导体生产对电子气体的纯度提出了更高的要求。这进一步增加了中国企业打破外国在高端电子气体领域垄断的难度。

 

什么是电子气？

电子气体广泛应用于电子产品的加工过程中，如离子注入、蚀刻、气相沉积、掺杂等工艺。它被称为集成电路、液晶板、LED和光伏材料的“食物”和“来源”。电子半导体器件的性能与电子气的质量密切相关，因此电子器件也被称为半导体制造的“血液”。

在半导体行业的原材料份额中，电子气是仅次于大型硅片的半导体材料第二大市场需求。随着半导体工业的发展，电子气体市场也在不断增长。2017年，全球特种电子气体市场规模为38.92亿美元，2018年，特种电子气体市场规模为45.1亿美元，比上年增长15.9%。

特殊电子气体包括集成电路、面板、光伏和光纤制造的许多互联。它们是制造过程中的关键材料，其质量直接影响电子器件的产量和性能。目前，在半导体工业的各种化合物中使用的特殊气体有110多种，通常使用20-30种。

电子气在许多集成电路中起着重要作用，尤其是在半导体薄膜的沉积中。它是形成薄膜的最重要原料之一。

 

特殊电子气体主要用于LCD行业的成膜和干法蚀刻工艺。液晶显示器有多种类型，其中TFT-LCD因其响应时间快、图像质量高、成本逐渐降低而成为应用最广泛的液晶显示器技术。TFT-LCD面板的制造过程可分为三个阶段：前阵列、中间单元和后模块安装。电子气体主要用于前阵列工艺的成膜和干法蚀刻阶段。经过多次成膜过程，在衬底上沉积了SiNx非金属膜和栅、源、漏和ITO等金属膜。

电子气体主要用于LED照明中LED外延晶片和芯片的制造过程。LED的主要生产工艺包括外延晶片生长、芯片加工和封装应用。特殊电子气体主要用于外延晶片生长和芯片加工。（LED是发光二极管的缩写。它是一种新型的半导体固态发光器件，具有高光速、良好的光质、低能耗、安全环保的优点。它是新一代光源和绿色光源）。

 

电子气体在两种主流太阳能电池，即太阳能晶体硅电池和薄膜太阳能电池的生产中发挥着重要作用。太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体芯片。由于太阳能是可再生的清洁能源，太阳能电池具有广阔的发展前景。太阳能电池芯片是太阳能电池的核心部件。电子气体在太阳能电池的许多生产化合物中起着重要作用，包括扩散、蚀刻、沉积和其他过程。