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标准气体和混合气体准确性与气瓶有很大的关系
标准气体和混合气体准确性与气瓶有很大的关系，对于盛装电子混合气体的气瓶，内表面决不能采用高分子材料处理。根据研究验证，无论何种高分子材料，都有一定量的有机物释放，这些碳氢化合是IC制造“有害”杂质尤其是在夏季，释放会加剧。由此可见要保证标准气体、混合气体准确性和长期的稳定，盛装气瓶将要进一步的细致处理。更多 +
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关于标准气体和混合气体准度的问题
无论是计量用的标准气体还是电子混合气体，准确性是第一要素。如何确保气体准确、稳定，是我们迫切需要关注和解决的问题。因为气瓶厂只能依赖于标气公司做配气、分析等效果考察工作，或许Cl2 10 x 10-6-N2 处理接果不错，而Cl2 5 ×10 6_N2 就不满意了，所以，此项工作类似于杂交水稻的培育，需要长期不间断地考察研究，最好是多部门的联合攻关作战。若没有国家的资金支持，目前的背景下，完成此项意义重大、经济效益不突出的研究，真的有存在的可能性？可见气瓶的稳定性问题将长期困扰中国气体的进步更多 +
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关于标准气体和混合气体准度的问题
无论是计量用的标准气体还是电子混合气体，准确性是第一要素。如何确保标准气体准确、稳定，是我们迫切需要关注和解决的问题。因为气瓶厂只能依赖于标气公司做配气、分析等效果考察工作，或许Cl2 10 x 10-6-N2 处理接果不错，而Cl2 5 ×10 6_N2 就不满意了，所以，此项工作类假于杂交水摇的培育，需要长期不间断的考察研究，最好是多部门的联合攻关作战。若没有国家的资金支持，目前的背景下，完成此项意义重大、经济效益不突出的研究，真的有存在的可能性？更多 +
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混合气体和标准气体的不同
电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点，但又有许多不同，电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外，更需要气体具有优良的品质，换言之，电子混合气体必须要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线，也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。 1、电子混合气体的气瓶处理 同其他气体不同，对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格，否则，即便是混合气体配制的准确度再高，稳定性再好也无更多 +
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常见的电子混合气体组分|纽瑞德特气
电子工业用气体统称为电子气。在大规模集成电路（LSI）、超大规模集成电路（VLSI）、半导体和电子器件生产与加工过程中，电子气主要用于气相外延生长、化学气相淀积、掺杂（杂质扩散）、蚀刻、离子注入、溅射、退火、系统加压、洁净吹扫、吸气覆盖、氧化和还原等工艺。其中部分气体直接作为半导体源，如硅源、硼源、磷源和CVD 源等等。 常见的几种电子混合气体： Oxygen in Tetrafluoromethane 4% O2/CF4 8% O2/CF4 1更多 +
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常见的5种电子混合气体|纽瑞德特气
气体在半导体工业和微电子工业中扮演着不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗气体以外，还有一个重要的分支:电子混合气体。电子混合气体广泛用于大规模集成电路（L.S.I）超大规模集成电路（V.L.S.I）和半导体器件生产中，主要用于气相外延（生成）、化学气相淀积、掺杂（杂质扩散）、各类蚀刻和离子注入等工艺中。 根据不同用途又可以将电子混合气体分为：晶体生长气、热氧化气、外延气、掺杂气、扩散气、化学气相淀积气、喷射气、离子注入气、等离子蚀刻气、载气/吹洗气、光刻气、退火气、焊更多 +
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电子混合气体是什么？有哪些？|纽瑞德特气
随着我国工业技术的不断发展，我们对特种气体的需求量不断增加。特种气体有别于一般工业气体，它是具有特殊用途，并在特定领域中应用的，对纯度、杂质含量、组成、物化性能等方面有特殊要求的一类气体产品。与工业气体相比，特种气体的品种多而产销量小，常用的混合气体和标准校正气即特种气体的重要组成部分。 电子混合气是常用的混合气体之一，指含有两种或两种以上有效组份，或虽属非有效组份但其含量超过规定限量的气体。由几种气体组成的混合物，是工程上常用的工质。混合气体通常被当作理想气体研究。更多 +
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我国电子特气行业发展的新形式
谈电子特气产品发展形势之前，必须先学习气体生产安全性。随着我国各种气体产能的增加，气体的安全显得尤为必要。目前国家的相关法律、法规对电子气体特气的安全管理缺乏针对性，有的还存在盲区。我国应该努力向国外先进标准看齐，制定适合我国实际特点的各种规定，确保电子特气生产、经营、贮存、运输、使用等诸多环节的安全。此 什么叫电子混合气体？电子混合气是电子气体重要的组成部分。同超纯电子特气相比，电子混合气体种类因混合气体的组成、组分的浓度、气瓶体积、材质不同而异常复杂，组分使用浓度的范围较宽，从10更多 +
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电子气体的发展、应用、分类及常用电子混合气体
电子气体的发展及其应用，电子气的分类。常用电子混合气有外延生长混合气-蚀刻混合气-掺杂混合气-化学气相沉积混合气-离子注入气。更多 +
