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99.999%(5N)高纯四氟化碳
产品分类:四氟化碳更多 +
纯度:99.999%(5N)
包装:钢质无缝气瓶
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
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三氟化氮和六氟化硫等7种气体被列为需要控制的温室气体
自今日起《碳排放权交易管理办法(试行)》正式开始施行。根据“办法”第一条:在应对气候变化和促进绿色低碳发展中充分发挥市场机制作用,推动温室气体减排,规范全国碳排放权交易及相关活动,根据国家有关温室气体排放控制的要求,制定本办法。 对于控制排放的温室气体,“办法”中第四十二条明确规定的温室气体包括二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、氧化亚氮(N2O)、氢氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)、六氟化硫(SF6)和三氟化氮(NF3),总共更多 +
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四氟化碳在微电子行业的应用
四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控更多 +